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    NF-300H TEOS
    PECVD设置装备摆设

    产品介绍

    NF-300H TEOS 设置装备摆设由ag九游科技承当了国度十三五严重专项,自主研发,拥有自主知识产权。使用于128层及以上3D NAND闪存芯片的消费。可完成SiO2、SiN(ONON)多层薄膜堆叠布局和Thick TEOS 薄膜,在匀称性、颗粒度、粗度、应力及产能等方面完成技能打破,设置装备摆设功能目标达同类产品程度。


     
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