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产品介绍

PF-300T Altair
12英寸 Thermal ALD设置装备摆设

产品介绍

PF-300T Altair 系列是ag九游自主研发的热原子层堆积(Thermal Atomic Layer Deposition)设置装备摆设,以高产能PEALD设置装备摆设中心技能为底子,针对金属薄膜堆积的特别性,对反响腔模块及要害部件优化设计,完成本钱更低,纯度更高的金属薄膜的堆积,可用于堆积AlOx/AlN/SnOx/TiN等多种金属薄膜质料。在7nm及以下制程中有着普遍的使用。


 
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