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产品介绍

PF-300T SAF, PF-200T SA
12英寸 , 8英寸 SACVD设置装备摆设

产品介绍

SACVD 设置装备摆设系列是ag九游自主研发的次常压化学气相堆积(SACVD)设置装备摆设,拥有自主知识产权。SACVD反响腔搭载在已经过量产验证的高产能PECVD平台上,充实完成设置装备摆设对产能的需求。该设置装备摆设次要使用在STI、PMD/ILD等,满意Gap-fill的需求。


 
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